Canon обещает революцию в производстве чипов

Японская Canon намерена в этом году выпустить недорогое оборудование, которое удешевит производство чипов чуть ли не на порядок. Это будет «печатная машина», которая изменит технологию производства микросхем. Японский производитель принтеров и фотоаппаратов намерен бросить вызов лидеру отрасли.

Canon продвигает технологию печати микросхем на кремниевых пластинах вместо их травления с помощью света (фотолитографии). Компания намерена в этом году выпустить недорогую «штамповочную» машину, которая революционизирует процесс производства микросхем. Поставки новых недорогих станков для производства микросхем Canon надеется начать уже в этом году.

И это происходит в тот момент, когда западные правительства пытаются ограничить доступ Китая к самым передовым полупроводниковым технологиям, а мировой спрос на станки для производства микросхем резко возрос. В случае успеха технология NANOIMPRINT от Canon может вернуть японским производителям часть преимущества, которое они уступили конкурентам из Южной Кореи, Тайваня и, все чаще, Китая за последние три десятилетия.

«Мы хотели бы начать поставки в этом или следующем году… Мы хотим сделать это, пока рынок горячий, — заявил Хироаки Такеиши, глава промышленной группы Canon, который курировал разработку новых машин — Это уникальная технология, которая позволит производить передовые чипы просто и по низкой цене».

Наноимпринтная литография Canon впервые была представлена в середине октября. Технология разрабатывается уже более 15 лет, но, по словам компании, только сейчас она стала коммерчески жизнеспособной. Элементы чипов просто наносятся на кремниевые пластины, а не вытравливаются с помощью света. По словам Canon, этот процесс будет «на порядок дешевле» и будет «потреблять на 90 процентов меньше энергии», чем доминирующая на рынке технология экстремального ультрафиолетового излучения (EUV) компании ASML, базирующейся в Нидерландах.

ASML, единственная группа, способная производить сложнейшие EUV-машины, необходимые для производства новейших поколений чипов на таких предприятиях, как Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Samsung Electronics в Южной Корее и Intel в США, постепенно оттесняет конкурентов. Но машины голландской технологической компании одновременно являются самой дорогой частью производственного процесса. Стоимость каждой превышает $150 млн, а сроки поставки затягиваются, что дает Canon реальные возможности для продвижения своей технологии на рынке.

«Наша цель — не отнять долю у EUV… но мы считаем, что наша технология наноимпринтинга может сосуществовать с EUV и другими технологиями и способствовать общему росту отрасли», — сообщил Такеиши. Хотя Canon оптимистично настроена на возможность занять свою нишу, но в первую очередь она сосредоточится на микросхемах памяти 3D Nand, а не на более сложных микропроцессорах. И аналитики скептически относятся к тому влиянию, которое она может оказать. «В этой технологии нет ничего нового… Если бы технология наноимпринтинга была более совершенной, я думаю, она уже была бы запущена и представлена на рынке в большом количестве», — говорит Ричард Виндзор (Richard Windsor), основатель исследовательской компании Radio Free Mobile.

Одной из самых сложных задач для Canon является миниатюризация. Компания начинает с 5-нанометрового (миллиардных долей метра) стандарта микросхем и стремится достичь 2 нм. Такеиши не стал уточнять потенциальный выход продукции (долю микросхем, которые будут признаны бездефектными и пригодными для отправки заказчикам) при использовании наноимпринтов, но аналитики считают, что он должен составлять около 90 процентов, чтобы конкурировать с EUV. «Что касается проблемы дефектов, я думаю, что наша технология в значительной степени решила эту проблему, — сказал Такеиши, — Но поскольку существующие процессы производства чипов оптимизированы для EUV, очевидно, возникнут различные трудности с внедрением новой технологии».

Поэтому первые поставки будут пробными, и Canon предстоит убедить клиентов в том, что интеграция новых машин в существующие производственные цеха стоит усилий. Компания заявила, что серьезных изменений в планировке не потребуется, но потребуется дополнительное оборудование, например, машины для очистки и производства масок.

Аналитики надеялись, что Canon сможет продавать машины в Китай, чего ASML больше не может делать со своими передовыми инструментами из-за американского экспортного контроля. Однако японский экспортный контроль, разработанный в соответствии с требованиями Вашингтона, создает в этом смысле трудности для Canon.